12 その他(特殊な測定システム)
| 登録番号 | 設備名 | |
|---|---|---|
| 1047S | プラズマエッチング装置 | |
| 1087S | デュアルビーム微細加工同時モニタリング装置 | |
| 1113S | 250kN/2200N-m軸/捩り疲労試験機 | |
| 1131S | 表面ナノ力学特性測定装置 | |
| 1143D | 微小摩擦力測定装置 | |
| 1153S | 小型研究開発用スパッタリング装置 | |
| 1154S | 高速度・高感度カメラシステム | |
| 1191D | ソフトマテリアル用動的力学特性評価システム （エレクトロパルス疲労試験機） | |
| 1192D | 永久磁石振動台総合システム | |
| 1193D | 超遠心分離機 | |
| 1198D | 無冷媒型強磁場中物性測定装置 |